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一种抛光垫厚度在线测量装置

发布者：

系统发布

联系方式：

平台代办

申请（专利权）人：

广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

发明（设计）人：

价格类型：

面议

价格：

面议

专利号：

CN202223398417.7

分类名称：

专利类型：

实用新型

专利状态：

已下证

授权日期：

2023-06-20

合作方式：

专利转让

摘要：

本实用新型涉及抛光垫测量技术领域,具体涉及一种抛光垫厚度在线测量装置,包括底座、调节组件和测量表组件,底座上设有立柱,调节组件包括套设在立柱上的移动环和转动臂,转动臂位于移动环的上方,转动臂上滑动安装有伸长臂,测量表组件包括测量表和探针,测量表的外部套设有安装环,测量表通过安装环安装在伸长臂上,探针设置在测量表的底部。本实用新型操作简单,可安装在抛光机台上随时对抛光垫的厚度进行测量,测得抛光垫任意位置的厚度;通过移动环和立柱、转动臂和立柱以及伸长臂和转动臂的配合,起到灵活调节高度、角度和伸缩长度的作用;通过设置卡槽,使得安装环在支架上可以便捷地安装和取下,进而实现测量表组件可快速拆装的效果。

附图：