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一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法
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华南理工大学
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CN201510607505.9
发明
已下证
2018-04-13
专利转让
本发明公开一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗,辅以离子清洗与刻蚀,然后采用先进等离子辅助电弧技术(APA Arc),在一定负偏压、沉积温度、气体压强条件下,通过改变反应气体流量在基体表面沉积具有成分梯度结构的TiCN硬质涂层。与传统方法制备TiCN涂层相比,本发明显著有效提高了TiCN涂层的硬度和膜基结合能力,降低了表面粗糙度,提高耐磨性能,有效提高了涂层刀具和机械零部件的加工效率和使用寿命。且涂层工艺简单,易于实施,更适合于工业化生产。