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金属薄膜腐蚀速率的测试装置

发布者：

系统发布

联系方式：

平台代办

申请（专利权）人：

广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

发明（设计）人：

价格类型：

面议

价格：

面议

专利号：

CN202320114610.9

分类名称：

专利类型：

实用新型

专利状态：

已下证

授权日期：

2023-12-05

合作方式：

专利转让

摘要：

本实用新型提供了一种金属薄膜腐蚀速率的测试装置,包括恒温容器。沿所述恒温容器的高度方向,所述恒温容器中依次设有第一隔板和第二隔板,所述第一隔板和所述第二隔板将所述恒温容器的内腔分隔为依次顺序分布的第一腔体、第二腔体以及第三腔体。其中,所述第一隔板包括第一活动部以及与所述第一活动部连接的第一固定部,所述第一活动部用于控制所述第一腔体与所述第二腔体的连通,所述第二隔板包括第二活动部以及与所述第二活动部连接的第二固定部,所述第二活动部用于控制所述第二腔体与所述第三腔体的连通。本实用新型能够避免温度对腐蚀速率的影响、且测量的准确性较高。

附图：