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一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用

发布者：

系统发布

联系方式：

平台代办

申请（专利权）人：

广东工业大学

发明（设计）人：

价格类型：

一口价

价格：

专利号：

CN202110642340.4

分类名称：

专利类型：

发明

专利状态：

已下证

授权日期：

2022-10-28

合作方式：

开放性许可

摘要：

本发明公开了一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用,所述防静电抛光层包括如下按质量百分比计的原料:聚氨酯预聚物1%~30%;磨粒40%~96%;抗静电的导电物质1%~10%;交联剂1%~10%;多孔氧化锆1%~10%。所述抛光垫包括:基体层,所述基体层包括弹性衬底层和制备在弹性衬底层上的刚性层;上述防静电抛光层,所述抛光层制备在所述刚性层上;所述抛光层和刚性层以及弹性衬底层和刚性层均通过粘结剂粘结。本发明提供了一种防静电抛光层,所述防静电抛光层中含有抗静电的导电物质,使用该抛光层制备得到的抛光垫可防止CMP工作系统的故障,同时保证晶圆的表面加工质量,具有良好的应用前景。

附图：