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一种聚磷酸酯成膜树脂及光刻胶组合物

发布者：

系统发布

联系方式：

平台代办

申请（专利权）人：

广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

发明（设计）人：

价格类型：

面议

价格：

面议

专利号：

CN202211536178.9

分类名称：

专利类型：

发明

专利状态：

已下证

授权日期：

2023-10-10

合作方式：

专利转让

摘要：

本发明属于光刻胶微电子化学技术领域,公开了一种聚磷酸酯成膜树脂及光刻胶组合物,所述聚磷酸酯成膜树脂由两个以上相同或不同的聚合单元组成,所述聚合单元具有如式Ⅰ所示结构,R1为含苯环的基团;R2至少包含如下一种基团:芳基、芳烯基、杂芳烯基、烷基、卤代烃基、环氧烷基、环烷基、环烯基;其中,至少一个聚合单元的R2为环状不饱和基团;m为聚合度,10≤m≤1000,分子量分布为1.00 3.0。本发明聚磷酸酯成膜树脂具有良好的粘附性和成膜能力,且具有更长的储存时间。

附图：