肇庆高新区知识产权综合服务平台

一种用于电子束光刻胶的聚合物树脂及其制备方法

发布者：

系统发布

联系方式：

平台代办

申请（专利权）人：

广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

发明（设计）人：

价格类型：

面议

价格：

面议

专利号：

CN202210579073.5

分类名称：

专利类型：

发明

专利状态：

已下证

授权日期：

2023-06-13

合作方式：

专利转让

摘要：

本发明属于光刻胶微电子化学技术领域,公开了一种用于电子束光刻胶的聚合物树脂及其制备方法和应用,包含式I所示聚合物结构;所述式I聚合物结构是由α 卤代丙烯酸酯单体和芳香族乙烯基单体共聚制备得到;所述α 卤代丙烯酸酯单体为式II所示结构:其中,X为F、Cl、Br或I;Y为C1~C3烷烃及其衍生物中的一种;m、n为单体的摩尔占比,0.1≤m≤0.9,0.1≤n≤0.9,n+m=1;R2和R3分别独立的为H、 CH3、 CH2CH3、C3~C12烷烃及其衍生物中的一种。本发明树脂材料在确保分辨率、灵敏度、抗蚀性等性能优异的前提下,改善光刻胶粘附性、线条易倒塌等问题。

附图：